ICP-MS分析技术在半导体行业中的应用专题研讨会

仪表网 仪表会议】2019年4月25日和26日,上海市计量测试技术研究院材质中心理化室联合国际分析仪器巨头安捷伦公司在上海和江苏无锡举办了两场“ICP-MS分析技术在半导体行业中的应用专题研讨会”。参加此次研讨会的单位既有中芯国际、华力半导体等集成电路产业龙头企业,又有诸如多氟多、晶瑞化学等新兴民营电子化学品生产企业,与会人员近百人。
 
   此次会议也是依托于上海市计量测试技术研究院的“上海市电子化学品计量检测技术服务平台”(以下简称“平台”)的一项重要对外服务活动。会上上海市计量测试技术研究院技术人员介绍了“平台”的功能和服务内容,分享了ICP-MS分析技术在集成电路产业应用的发展现状。
   安捷伦公司特邀其日本技术中心的专家介绍了其产品30年来在半导体行业应用中的技术革新及最新应用进展。研讨会气氛热烈,得到了与会人员的一致好评。
   近几年,在市场需求和国家政策的推动下,我国半导体集成电路产业正在经历着前所未有的发展变革。随着芯片制程工艺水平的不断提升,对各类材料及化学品的品控要求近乎苛刻,杂质的检测要求已达十亿分之一的级别,对检测方法和检测设备都提出了全新的要求。
   在此背景下,上海市计量测试技术研究院与安捷伦公司强强联合,为上海及周边地区的集成电路及电子化学品生产企业及研发机构,提供了一次很好的学习交流机会,共同探讨了我国集成电路技术的发展和ICP-MS在半导体工业领域应用的技术革新和前沿发展成果。
   (原文标题:我院与安捷伦公司联合举办ICP-MS应用研讨会) <
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