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仪表网 仪表会议】2019年4月25日和26日，上海市计量测试技术研究院材质中心理化室联合
国际分析仪器巨头安捷伦公司在上海和江苏无锡举办了两场“ICP-MS分析技术在半导体行业中的应用专题研讨会”。参加此次研讨会的单位既有中芯
国际、华力半导体等集成电路产业龙头企业，又有诸如多氟多、晶瑞化学等新兴民营电子化学品生产企业，与会人员近百人。
此次会议也是依托于上海市计量测试技术研究院的“上海市电子化学品计量检测技术服务平台”(以下简称“平台”)的一项重要对外服务活动。会上上海市计量测试技术研究院技术人员介绍了“平台”的功能和服务内容，分享了ICP-MS分析技术在集成电路产业应用的发展现状。
安捷伦公司特邀其日本技术中心的专家介绍了其产品30年来在半导体行业应用中的技术革新及最新应用进展。研讨会气氛热烈，得到了与会人员的一致好评。
近几年，在
市场需求和国家政策的推动下，我国半导体集成电路产业正在经历着前所未有的发展变革。随着芯片制程工艺水平的不断提升，对各类材料及化学品的品控要求近乎苛刻，杂质的检测要求已达十亿分之一的级别，对检测方法和检测设备都提出了全新的要求。
在此背景下，上海市计量测试技术研究院与安捷伦公司强强联合，为上海及周边地区的集成电路及电子化学品生产企业及研发机构，提供了一次很好的学习交流机会，共同探讨了我国集成电路技术的发展和ICP-MS在半导体工业领域应用的技术革新和前沿发展成果。
(原文标题：我院与安捷伦公司联合举办ICP-MS应用研讨会)
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